本發明涉及一種PCVD沉積制作光纖預制棒芯棒的方法,其特征在于根據上一根被沉積的預制棒芯棒的截面積分布、折射率分布和折射率剖面,上一根預制棒芯棒不同時間被控制反應氣體的流量,推算需要的截面積分布、折射率分布和折射率剖面實際需要的不同時間的被控制反應氣體的流量,在芯棒沉積的不同徑向和軸向位置,用快速流量控制模塊和流量測量模塊對反應氣體的一種和多種進行精確流量控制,從而實現芯層的折射率、折射率剖面和截面積管內沉積的精確控制。本發明能改善微波等離子體化學氣相沉積光纖預制棒芯棒參數,提高沉積襯管參數分布的均勻性,增加芯棒有效長度,降低制作成本。
聲明:
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