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藍寶石拋光工藝

810   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:58
本發明公開了一種藍寶石拋光工藝，包括如下步驟：原料預處理、精磨、拋光、清洗和測試等，該藍寶石拋光工藝，該藍寶石拋光工藝，通過原料預處理和精磨工藝將原料表面經行研磨，降低拋光時的難度，節約拋光時間，通過使用由三氧化二鋁制成拋光液硬度高，且在與藍寶石摩擦過程中產生化學反應從而使CMP有效進行，穩定性高，成本低，通過FA/O復合活性劑增加拋光液的穩定性，提高拋光表面的平整性和工作效率，通過實驗，在壓力為4psi、轉速為60rpm/min和pH值為10時，拋去的去除速率為6um/hr，當壓力值為5psi、轉速為60rpm/min和pH值為10時，拋去的去除速率為8um/hr，本發明的工藝流程簡單，且同時節約成本，值得以后推廣。
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聲明：
“藍寶石拋光工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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