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半導體多孔晶體薄膜傳感器及制備方法

1194   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:58
本發明涉及一種半導體多孔晶體薄膜傳感器及制備方法，包括襯底和設置在襯底上的致密多孔晶體薄膜，所述致密多孔晶體薄膜是由尖錐狀凸起交聯組成的多孔網格結構，所述尖錐狀凸起的側壁之間構成倒尖錐形狀的倒尖錐孔。本申請的致密多孔晶體薄膜是一次性生長而成，具有制備工藝簡單、比表面積大、且表面活性高等優勢；致密多孔晶體薄膜，是由倒尖錐狀的孔構成，有利于待測樣品進出小孔、并具有大的比表面積；其孔壁為尖錐狀結構，更為結實穩定；選用的氮化物半導體材料屬于第三代半導體材料，具有優異的化學穩定性，如耐酸堿腐蝕，更適用于高可靠性的半導體傳感器。
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化學分析
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