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墊調節器的切割速率監控

971   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:56
一種用于化學機械拋光的裝置，包括平臺，所述平臺具有表面以支撐拋光墊；承載頭，保持基板抵靠拋光墊的拋光表面；墊調節器，保持調節盤抵靠拋光表面；原位拋光墊厚度監控系統；及控制器?？刂破髋渲贸梢韵鄳R界值儲存與多個調節器盤產品的每個相關聯的數據、接收從多個調節盤產品選擇調節器盤產品的輸入、確定與經選擇的調節器盤產品相關聯的特定臨界值、從監控系統接收信號、從信號產生墊切割速率的測量、及若墊切割速率在特定臨界值之外則產生警報。
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