合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置：中冶有色 >

有色技術頻道 >

有色金屬技術

礦山技術

冶金技術

材料制備及加工技術

環境保護技術

分析檢測技術

> 分析檢測技術

> 化學分析技術

> 降低氫終端金剛石歐姆接觸電阻的方法

降低氫終端金剛石歐姆接觸電阻的方法

1017   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:55
一種降低氫終端金剛石歐姆接觸電阻的方法，屬于金剛石電子器件領域。本發明采用微波等離子體化學氣相沉積，以甲烷、氫氣為反應氣體，在單晶金剛石襯底上外延一層金剛石薄膜，隨后在氫等離子體氛圍中處理，使金剛石表面形成氫終端，之后放置于大氣環境中。然后根據線性傳輸模型，進行光刻工藝，調節飛秒激光器，使激光聚焦在樣品表面以下1μm范圍內，調整激光照射功率、頻率范圍、掃描周期，在氫終端金剛石亞表層產生石墨相。最后采用電子束蒸鍍、熱蒸鍍或磁控濺射制備金屬電極，之后進行快速退火處理，最終制得測試所需的歐姆電極圖案。本發明方法結合了石墨的高電導性來降低金屬與金剛石間的接觸電阻，從而改善了金剛石基電子器件的歐姆接觸特性。
登錄解鎖全文
聲明：
“降低氫終端金剛石歐姆接觸電阻的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽：
化學分析
上一個：通過無人機讀船舶吃水的方法
下一個：氮雜環火炸藥堿水解處理工藝

與 “降低氫終端金剛石歐姆接觸電阻的方法” 相關技術

? 冶金爐的窯爐體膨脹自動監測裝置
? 富集紅土鎳礦中鎳和鈷的方法
? 鈦鐵礦同時生產低碳純鐵、鈦白粉和高端海綿鈦的系統和方法
? 釩鈦鐵礦同時生產低碳純鐵、硫酸氧釩、鈦白粉和高端海綿鈦的系統及方法
? 礦石處理方法
? 銻基負載吸附劑低堿耗解析方法
? 含鎳溶液中鐵、鉻雜質的去除工藝
? 濕法冶金電解槽電壓數智化監測系統
? 濕法冶金中的除鐵方法
? 海綿狀金屬強制定量上料裝置

相關化學分析設備推薦

脈沖式電磁超聲測厚儀
手持式土壤墑情自動檢測儀農業地質監測站
土壤氧化還原電位測定儀
土壤重金屬檢測儀
武漢土壤肥料養分測試儀
全國熱門有色金屬技術推薦
江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
展開更多 +

 

中冶有色技術平臺

最新更新技術

?冶金爐的窯爐體膨脹自動監測裝置
?富集紅土鎳礦中鎳和鈷的方法
?鈦鐵礦同時生產低碳純鐵、鈦白粉和高端海綿鈦的系統和方法
?釩鈦鐵礦同時生產低碳純鐵、硫酸氧釩、鈦白粉和高端海綿鈦的系統及方法
?礦石處理方法
?銻基負載吸附劑低堿耗解析方法
?含鎳溶液中鐵、鉻雜質的去除工藝
?濕法冶金電解槽電壓數智化監測系統
?濕法冶金中的除鐵方法
?海綿狀金屬強制定量上料裝置

報名參會
更多+

第二屆全國鹽湖資源綜合利用與綠色發展創新論壇
第二屆全國鹽湖資源綜合利用與綠色發展創新論壇
2025年07月09日 ~ 11日
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
2025年07月11日 ~ 13日
2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
2025年07月16日 ~ 18日
2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
2025年07月16日 ~ 18日
2025全國稀有&貴金屬礦冶技術交流會
2025全國稀有&貴金屬礦冶技術交流會
2025年07月17日 ~ 19日

報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取
下載:139
2 取、制樣安全淺析
下載:131
3 取、制樣現狀及未來規劃/需求
下載:108
4 自動化樣品制備助力準確高效的礦
下載:99
5 淺談質量檢驗管理風險防控的重點
下載:95
6 樣品變質引起采制樣和結算問題
下載:95
7 礦產品人工取樣方案的制定及案例
下載:93
8 用于X熒光分析的樣品前處理及其
下載:91
9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿
下載:90
10 非常規礦產品取制樣方法的探討
下載:89
赤泥綜合利用研究報告2025
推廣

熱門技術
更多+

1防爆閥保護膜
2壓力平衡機構
3水電站的尾水預埋件
4化工礦產有色金屬的檢測機構
5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法
6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置
7有色金屬現貨狀態評估系統及方法
8有色金屬廢料中鐵磁性雜質檢測設備及檢測工藝
9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法
10便攜式礦山測量激光儀
衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環磨科技控股（集團）有限公司
宣傳

發布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話：
010-88793500-807
專利人/作者信息登記
在线精品视频播放|无码 有码 国产18p|宅男精品一区在线观看|伊人色综合久久天天人手人婷|亚洲熟肥妇女BBXX