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擴散后不良片的單獨返工方法

1065   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:51
一種擴散后不良片的單獨返工方法，步驟包括：將返工片經純水清洗、堿槽清洗、純水清洗、混酸槽清洗、純水清洗、硅片表面的水烘干，流入擴散工序重新擴散，然后清洗去PSGPECVD鍍膜，絲網印刷及高溫爐燒結，最后分選測試即可。本發明不需要重新制絨，能保證小絨面，有效解決亮花紋片的出現，確保成品電池片的外觀及效率；此專利本質上是對不良片的一個分類處理，之前所有的返工片都會制絨，為保證硅片上的臟污清洗掉，高方阻不良片不存在外觀污染的問題，所以不需要制絨，且有效降低化學品用量。
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聲明：
“擴散后不良片的單獨返工方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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