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降低半導體設備工藝腔室內金屬污染的方法

797   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:51
本發明公開一種降低半導體設備工藝腔室內金屬污染的方法，該包括在工藝腔室的內壁形成介質層的步驟，其中形成介質層的步驟包括：向工藝腔室中通入第一氣體和第二氣體，并使第一氣體和第二氣體電離形成等離子體并發生化學反應，以在工藝腔室的內壁上沉積形成不含金屬元素的介質層。本發明在工藝腔室的內壁形成介質層，從而起到保護晶圓的作用，使其不會被金屬所污染，從而保證了金屬污染測試的通過率，進而節省大量的機臺閑置時間，提高機臺產能，增加了晶圓上芯片元器件的可靠性，提升器件良率。
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“降低半導體設備工藝腔室內金屬污染的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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