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優化晶體硅太陽能電池PN結的方法

780   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:51
本發明公開了一種優化晶體硅太陽能電池PN結的方法，步驟如下：擴散；酸溶液對PN結腐蝕：將擴散后的硅片置于化學清洗機臺中，采用HNO3、HF和DI水的混合溶液對硅片進行腐蝕，所述HNO3∶HF∶DI水的體積比為10∶1∶100, 反應時間為20～60s；PN結堿溶液處理 : 由于酸性腐蝕液對硅片進行酸性腐蝕時，表面會產生薄多孔硅層，需采用KOH和DI水的混合溶液對其清洗，所述KOH∶DI水的體積比為5∶100, 反應時間為20～60s；清洗；刻蝕；PECVD；絲網印刷；燒結測試。本發明在減反射層上疊加了透明導電膜層，能使復合膜層的減反射效果更佳，提升太陽電池的短路電流，提高電池效率。
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聲明：
“優化晶體硅太陽能電池PN結的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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