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鋅鎵氧材料薄膜及其制備方法

912   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:36
本發明提供了一種鋅鎵氧材料薄膜，所述鋅鎵氧材料薄膜中鋅與鎵的原子比小于1:2，所述鋅鎵氧材料薄膜為尖晶石結構。鋅和鎵的原子比例與傳統的1：2相比，鎵原子的占比更高，當Zn和Ga的化學計量比發生變化時，在一定范圍內形成ZnGaO材料仍然可以保持尖晶石的ZnGa2O4晶體結構。這種鋅鎵氧材料薄膜制備的光電探測器件呈現出了更高的峰值響應度，且暗電流和響應時間的參數基本沒有變化，為提升ZnGaO紫外探測器的性能參數提供了有效的方法。在光電器件的制備方面具有潛在的應用前景。并且，本發明提供的鋅鎵氧材料薄膜的制備工藝簡單，反應過程容易控制。
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“鋅鎵氧材料薄膜及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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