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無定型氧化鈦納米管陣列結構及其制備方法

1189   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:36
本發明涉及氧化鈦納米管陣列結構應用，具體為一種具有優異低溫氧氣傳感 特性的無定型氧化鈦納米管陣列結構及其制備方法，解決氧化鈦等大多數金屬氧 化物對氧氣的惰性表現。采用電化學陽極氧化法得到n型半導體氧化鈦納米管陣 列，其結構和物理特征是：無定形結構，長度1.0-20.0微米；外徑40-200納米； 載流子濃度范圍1.0×1018-1.0×1020cm-3；可測氧氣濃度區間200ppm-20.0vol.％； 工作溫度范圍50-250℃；靈敏度范圍0.1-1000。本發明無定型氧化鈦納米管陣列 是種低溫電阻控制型氧氣傳感器材料，具有靈敏度高、電阻隨濃度變化線性關 系好、探測濃度范圍廣、容易制備形成器件特點，具有重要應用價值。
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