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用于多晶硅層的研磨工藝及晶圓

903   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:36
本發明公開了一種用于多晶硅層的研磨工藝，包含以下步驟：1)測量晶圓厚度；2)對晶圓的多晶硅層進行化學機械研磨以獲得研磨面；3)對研磨面進行RCA清洗；4)對研磨面進行拋光研磨；5)對研磨面進行CPC清洗；6)再次測量晶圓的厚度。該研磨工藝能夠有效減少多晶硅表面隨機分布的凸起缺陷。本發明同時提供一種使用上述研磨工藝制備的晶圓。
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“用于多晶硅層的研磨工藝及晶圓” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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