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單片陣列式石英晶體微天平傳感器及其制作方法

885   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:36
本發明公開了一種單片陣列式石英晶體微天平傳感器及其制作方法，在一片石英晶片上呈矩陣式集成若干QCM單元，各QCM單元涂覆與測量相對應的敏感材料形成功能各異的QCM單元，配合低噪聲振蕩電路，形成各自的頻率信號輸出，各QCM單元設有退耦間隙用于隔離QCM單元之間的振動耦合，使QCM單元之間振動互不干擾各自獨立工作。通過在一片石英水晶上集成多單元QCM，這些QCM單元組合成矩陣，擁有各自的振蕩電路，構成獨立的取向性各異的采集單元，可以同時測量多種氣體或化學物質或生物細胞等，解決了QCM的功能單一問題，同時也具備成本低，集成度高，功能多樣化的優點。
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“單片陣列式石英晶體微天平傳感器及其制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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