用于測量含離子流體的流量的流量傳感器可以使用機械或電學技術來實現。機械流量傳感器具有移動部件,并因此在一定時間之后變得不可靠并制造成本高?;魻栃土髁總鞲衅鞯湫偷匦枰煞D磁場來補償電化學效應。包括這種傳感器的流量計使用電磁體。描述了一種流量傳感器(100),該流量傳感器使用電容性傳感器(10)和處理器(12),根據電容和磁場變化來確定流率。這樣的流量傳感器可以使用CMOS技術來實現。流量傳感器可以在永磁體產生的磁場中操作并且可靠地測量流量。
聲明:
“流量傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)