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電場傳感器探頭的制作工藝

874   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:35
本發明公開了一種電場傳感器探頭的制作工藝，其技術方案要點是，具體包括以下步驟：S1、切片：切片時選擇電場方向平行于鈮酸鋰晶體z軸方向的X切Z傳鈮酸鋰晶體制備為襯底切片；S2、蒸發：在所述S1中的襯底切片上采用化學氣相沉積技術制備緩沖層鈦作為掩模；S3、光導波刻；S4、PECVD：進行鈦擴散，將鈮酸鋰晶體放在濕氧的環境中進行鈦擴散以抑制LiO2外擴發生，抑制LiNb3O8晶相生成，降低晶體光折變的敏感性；S5、光刻電極；S6、電鍍；S7、磨切；本電場傳感器探頭的制作工藝具有生產流程短，生產出的電場傳感器探頭具有可測動態范圍大、響應速度快、頻率范圍寬、對電場畸變小、測量精度高、與一次設備無電氣連接、全絕緣等特點。
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聲明：
“電場傳感器探頭的制作工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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