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SEM樣品的制備方法

792   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:30:16
本發明提供一種SEM樣品的制備方法，至少包括以下步驟：S1：提供一待測試樣品；S2：去除所述金屬層，并將去除所述金屬層后的待測試樣品放入掃描電子顯微鏡中；S3：采用掃描電子顯微鏡電子束對去除所述金屬層后的待測試樣品的預設區域進行掃描，使該區域被碳化；S4：將步驟S3獲得的結構浸泡在雙氧水中以去除所述金屬栓；S5：將步驟S4獲得的結構浸泡在氫氟酸溶液中以去除部分所述層間介質層；S6：用水沖洗步驟S5獲得的結構以使所述字線、控制柵及擦除柵被水流沖走。本發明去掉了浮柵周圍不必要的結構，增強了SEM圖像對比度；樣品的制備過程中主要采用SEM電子束掃描和化學處理，提高了目標的命中率，能夠保證目標的完整性，樣品制備效率高。
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聲明：
“SEM樣品的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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