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金剛石簡諧振子的制備方法

1244   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:30:16
本發明公開了一種金剛石簡諧振子制備的工藝方法，通過離子注入法將高能粒子注入高溫高壓(HTHP)單晶金剛石(SCD)襯底形成類石墨的損傷層；在HTHP?SCD襯底上外延生長SCD層，同時類石墨的損傷層轉變成石墨改性層；高溫高真空退火處理外延生長SCD層和石墨改性層以減少缺陷；光刻工藝在外延SCD層表面制作相應的圖形并制備金屬掩模版；干法刻蝕工藝和濕法刻蝕工藝相結合刻蝕掉金屬掩模版和石墨改性層，形成鏤空結構，從而得到金剛石簡諧振子。本發明制備的金剛石簡諧振子具有非常優異的穩定性和可重復性，可廣泛應用于量子器件、化學傳感、生物傳感、溫度探測、質量探測和磁探測等領域。
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