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介質光柵結構單波長反射光吸收傳感芯片及其制造方法

871   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:30:15
本發明公開了一種介質光柵結構單波長反射光吸收傳感芯片及其制造方法。該介質光柵結構單波長反射光吸收傳感芯片自下至上依次包括石英襯底、SiO2+TiO2雙層光柵結構和微流通道，其中所述微流通道是扣置鍵合于該SiO2+TiO2雙層光柵結構之上。本發明提供的這種介質光柵結構單波長反射光吸收傳感芯片及其制造方法，實現了器件體積的微型化，節約了化學試劑；通過光柵的波長選擇性反射，采用LED白光光源，就可以實現寬波長照明單波長反射功能，同時改變光柵結構參數就可以實現不同波長反射，由于光吸收傳感測試精度與光譜寬度有關，因此通過測量單波長反射信號進行吸光度測量有利于提高傳感芯片的靈敏度。
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聲明：
“介質光柵結構單波長反射光吸收傳感芯片及其制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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