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多工位氣相合成金剛石膜裝置

912   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:30:15
本實用新型屬于化學氣相沉積技術,涉及一種由六套單元系統構成的多工位氣相合成金剛石膜裝置,各單元系統分別由充氣系統、排氣系統和反應室等連接構成,六單元系統并聯成結構相同、工作相對獨立且便于控制的六工位整機裝置,氫氣和甲烷充氣系統并聯后接入反應室,反應室內的燈絲安裝和更換采用專用工裝設備,制有輔助排氣管路便于故障檢修,具有結構新穎,性能可靠,產量高,質量好,便于維修等優點,可用于厚金剛石膜置備。
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