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芯片的加工方法

801   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:30:14
本申請提供了一種芯片的加工方法，涉及半導體器件處理技術領域。本申請實施例提供的芯片加工方法，通過對印制電路板上的芯片進行調平、初次減薄和二次減薄等步驟后，可以將芯片的厚度減薄至滿足地面單粒子效應測試的厚度，通過這樣的物理減薄，避免先減薄后焊接的操作流程中，重新焊接芯片帶來的芯片變形等情況，同時避免了化學減薄過程中很容易出現的過腐蝕或腐蝕不足的情況。即使使用能量交底的低能重離子，也可以對本申請中減薄后的芯片進行單粒子效應測試，降低了單粒子效應測試中對重離子加速器的能量要求。
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聲明：
“芯片的加工方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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