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再生PECVD設備或DRY ETCH設備腔體中的構件的方法

995   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:28:34
本公開涉及再生PECVD設備或DRY ETCH設備腔體中的構件的方法，該方法包括以下連續步驟：(a)對所述構件的表面進行噴砂處理；(b)用濃度為40?100g/L的無機酸溶液清洗所述構件的表面；(c)檢查所述構件的表面；(d)對所述構件的表面進行激光定點清洗；(e)對所述構件的表面進行超聲波清洗；(f)對所述構件的表面進行研磨處理；(g)對所述構件的表面進行噴砂處理；(h)使用干冰對所述構件的表面進行清洗；(i)用酸性或堿性溶液對所述構件的表面進行化學刻蝕；(j)對所述構件的表面進行超聲波清洗；(k)對所述構件的表面進行高壓清洗；以及(l)干燥所述構件的表面。
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“再生PECVD設備或DRY ETCH設備腔體中的構件的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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