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制造圖像傳感器的方法

1045   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:28:33
本發明公開一種制造圖像傳感器的方法和一種圖像傳感器。制造圖像傳感器的方法可以包括:在半導體襯底上面和/或上方形成包括金屬線的層間電介質;在層間電介質上面和/或上方形成圖像感測部;和/或在圖像感測部上面和/或上方形成硬掩模,該硬掩模中可以限定對應于金屬線的開口。制造圖像傳感器的方法可以包括:執行蝕刻工藝以形成暴露圖像感測部內部的輔助通孔,和/或通過硬掩模的蝕刻副產品在輔助通孔內部形成間隔件。制造圖像傳感器的方法可以包括:執行包括化學制品的蝕刻工藝以移除間隔件,和/或蝕刻圖像感測部和/或層間電介質以形成深通孔。
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