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激光差動共焦LIBS、拉曼光譜-質譜成像方法與裝置

799   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:23:06
本發明涉及一種激光差動共焦LIBS、拉曼光譜-質譜成像方法與裝置，屬于共焦顯微成像、質譜成像及光譜測量技術領域。本發明將差動共焦顯微成像技術與光譜、質譜探測技術結合，利用高空間分辨差動共焦系統對樣品進行軸向定焦與成像，利用質譜探測系統對樣品微區帶電分子、原子等進行質譜探測，利用光譜探測系統對差動共焦顯微系統聚焦光斑激發光譜(拉曼光譜、誘導擊穿光譜)進行微區光譜探測，實現樣品微區完整組分信息與形態參數的高空間分辨和高靈敏成像與探測。本發明實現激光多譜(質譜、拉曼光譜和激光誘導擊穿光譜)組分成像探測的優勢互補和結構功能融合，在生物、材料、物理化學、微納制造等領域有廣泛的應用前景。
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“激光差動共焦LIBS、拉曼光譜-質譜成像方法與裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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