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硅基光子材料器件制備方法

837   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:23:05
本發明提供了一種硅基光子材料器件制備方法，具體包括以下步驟：a)通過特殊方式加工制作出具有高密度和小尺寸的有序硅納米晶粒；b)通過光刻工藝的方式對晶粒進行加工；c)采用UHV/CVD在硅襯底上生長Ge量子點；d)對加工過后的晶粒摻雜化學混合元素；e)利用步驟d)制備得到的晶粒形成光開關陣列構成光波導開關；f)化學研磨與物理成型；g)對加工出的硅基光子電路板進行晶粒探針測試。本發明的制備方法可獲得熱導性好、電學性能好的硅基光子材料器件，且制備方法簡單、成本低廉、工藝可靠。
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“硅基光子材料器件制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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