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鈮酸鋰微環與波導集成器件及其制備方法

965   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:23:03
本發明公開了一種鈮酸鋰微環與波導集成器件及其制備方法，利用化學機械拋光技術將兩片鈮酸鋰薄膜基片上的微環和波導分別進行拋光減薄，再將這兩片鈮酸鋰薄膜基片對齊貼合并用膠水固化，進而實現鈮酸鋰微環與波導集成器件。本發明基于化學機械拋光工藝的鈮酸鋰微環與波導集成器件具有空間形狀可任意設計、尺寸可調、穩固集成的特點，在光信號處理、精密測量、非線性光學和量子光學等高科技領域具有很大應用前景。
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