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多孔金屬/介質微米管及其制備方法和應用

961   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:20:15
本發明屬于微納器件技術領域，具體為一種多孔金屬/介質微米管及其制備方法和應用。本發明微米管制備步驟如下：制備多孔陽極氧化鋁模板；沉積具有內應力的金屬或介質雙層薄膜；選擇性地腐蝕多孔陽極氧化鋁模板，從而形成管壁具有周期排列納米孔洞結構的微米管。這種特殊結構的多孔金屬/介質微米管具有多種重要應用前景。例如，可以卷曲特定材料得到微米尺度的氧化還原超級電容器；可以作為電化學生物分子傳感器，將多孔金屬/介質微米管浸入溶液中，通過測量其電化學性能變化探測溶液中特定的生物分子。
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