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藍寶石基氮化物芯片減薄劃片的方法

1187   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:17:30
一種藍寶石基氮化物芯片的減薄劃片方法，包括 下列步驟：成對地將藍寶石基氮化物芯片貼成氮化物芯片夾心 餅；將氮化物芯片夾心餅送入鉑金坩堝并置于或懸于鉑金絲 上，在該坩堝內，放置帶氣孔的γ－LiAlO2和Li2O混合料塊，料塊上部有鉑金片，覆蓋有γ－LiAlO2和Li2O混合粉料并配備有熱電偶的坩堝蓋，坩堝頂部加鉑金蓋密閉，置于電阻爐中；該電阻爐加熱升溫至750－900℃，恒溫80－200小時，氧化鋰擴散到藍寶石晶片中，發生固相反應生成鋁酸鋰(γ－LiAlO2)；采用機械或化學的方法進行減薄，并把這個氮化物芯片夾心餅從中分開；劃片；裂片；對芯片進行測試及分類包裝。本發明提高了對藍寶石基氮化物芯片的減薄和劃片的效率和成品率。
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