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氣體敏感霍爾設備

1139   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:14:36
本發明涉及氣體敏感霍爾設備。本文描述了化學敏感霍爾設備。根據本發明的一個示例，霍爾設備包括襯底和布置在襯底上的化學敏感層?；瘜W敏感層能夠與氣態或液體流體的原子或分子相互作用。力電極連接到化學敏感層，以用于沿第一方向將傳感器電流饋送通過化學敏感層。感測電極連接到化學敏感層，以沿第二方向分接化學敏感層處的霍爾電壓。背柵布置在襯底上或集成在襯底中，并且通過隔離層與化學敏感層隔離。
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