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半導體制程的系統和方法

1033   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:13:36
本文提供半導體制程的系統和方法，其中基于化學混合物的感測性質來自動控制含于水槽中的化學混合物中的化學物的量或濃度。在一些實施例中，半導體制程系統包括經配置以包含化學混合物的處理水槽?；瘜W感測器經配置以感測化學混合物的一或更多性質。系統進一步包括電控閥，此電控閥經配置以基于化學混合物的所感測的一或更多個性質來調整第一化學物在化學混合物中的量。
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