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基于近場電紡直寫技術的光柵尺制造裝置

789   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:13:35
本實用新型是一種基于近場電紡直寫技術的光柵尺制造裝置。光柵尺制造裝置包括有XY平面運動平臺（1）、Z軸運動導軌（2）、紡絲噴針（3）、注射器（4）、注射泵（5）、高壓電源（6）、高壓電源控制器（7）、注射泵控制器（8）、Z軸運動控制器（9）、XY運動平臺控制器（10）、電紡控制器（11）、微電流檢測器（12），光柵尺制造裝置能夠根據想要刻畫光柵柵距，自動調節電紡參數。本實用新型光柵尺制造方法包括以下步驟：16）清洗玻璃片并在玻璃片上鍍上一層均勻鉻膜；17）通過電紡的方法按照想要刻的光柵排列在鍍鉻玻璃片上有序電紡直寫聚合物覆蓋線；18）將玻璃片放入化學溶劑中定形和腐蝕；19）清除電紡覆蓋物。本實用新型用電紡直寫的方法取代了傳統光柵尺制造中光刻的過程，可以加工制造出精度非常高的光柵尺。
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“基于近場電紡直寫技術的光柵尺制造裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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