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高Q高FoM的金屬介質輔助GMR的折射率傳感芯片

804   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:11:54
本實用新型公開了一種高Q高FoM的金屬介質輔助GMR的折射率傳感芯片，所述的折射率傳感芯片分為四層結構，第一層為底層的透明介質基底，第二層為金屬薄膜層，第三層介質光柵層，第四層為高折射率介質光柵層；其中，介質光柵層和高折射率介質光柵層為周期性光柵陣列，光柵周期同為p，光柵占空比同為q，厚度分別為t1和t2，其中t1<t2；通過調整芯片的結構參數，包括金屬薄膜層厚度和高折射率介質光柵層的光柵參數及厚度，在Q值較低的GMR（Guided?Mode Resonance）共振峰的基礎上，衍生出一個高Q的共振峰；該高Q共振峰處伴隨著相位突變，高Q共振峰具備偏振敏感性?；诒景l明可實現高靈敏的折射率傳感，對疾病診斷、藥物研發、生物化學檢測等領域具有發展性的意義。
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聲明：
“高Q高FoM的金屬介質輔助GMR的折射率傳感芯片” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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