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基于場效應晶體管的氣體傳感器及其制備方法

745   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:11:51
本發明公開了一種基于場效應晶體管的氣體傳感器及其制備方法，氣體傳感器包括襯底、絕緣層、有源層、源極和漏極，所述絕緣層設置在所述襯底和有源層之間，所述源極和漏極分別間隔設置在所述有源層遠離所述絕緣層的一側，所述有源層的材料為二氧化鈦納米纖維或氧化鋅納米纖維，易于和VOC氣體發生化學反應，增強了氣體檢測反應速度和靈敏度，且比表面積大，增加了感應面積，可在相同的反應速度級別和靈敏度精度下將傳感器尺寸做的更小，而且二氧化鈦納米纖維或氧化鋅納米纖維通過靜電紡絲技術制備，制備方法簡單，靜電紡絲裝置工藝簡單、生產效率高，有利于氣體傳感器在消費電子中的應用，以及在更多應用場景中的普及。
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“基于場效應晶體管的氣體傳感器及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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