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基于SOI的垂直梳齒制造工藝

1226   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:08:39
本發明公開了一種基于SOI的垂直梳齒制造工藝，SOI從下到上依次為襯底、絕緣層、Si層，步驟如下：(1)利用化學氣相沉積工藝在Si層上沉積一層SiO2薄膜，(2)刻蝕SiO2薄膜，(3)采用物理氣相沉積和剝離技術得到鋁電極；(4)采用物理氣相沉積和剝離技術得到Cr掩膜；(5)干刻，去除未被Cr掩膜覆蓋的SiO2薄膜；(6)Si層第一次干刻；(7)去除Cr掩膜；(8)Si層第二次干刻；(9)絕緣層刻蝕，釋放梳齒結構。采用簡單工藝同時制造出等高和不等高垂直梳齒結構，可實現加速度計三軸方向特別是Z軸方向上加速度的檢測。
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聲明：
“基于SOI的垂直梳齒制造工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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