本發明提出一種帶光路的勻膠機,包括勻膠機本體,勻膠機本體包括第一機座、第二機和涂膜工作基座,第二機座內部設有光路氣路多用途旋轉機構,第一機座的內腔頂部設有光源組件,涂膜工作基座內部的工作腔底部設有排氣管。本發明可在旋涂過程中吸收光譜、熒光光譜和反射光譜的動態變化,用于跟蹤溶劑揮發、溶劑退火、熱退火過程中的材料相變,并在化學反應動力學、生化過程的跟蹤檢測方面具有優勢,排氣泵機通過多條對稱設置的導氣管使得排氣管進行抽氣工作,而由于排氣管座頂部開設有呈圓環形的排氣槽口,且排氣管與涂膜工作基座的工作腔呈同軸度設置,排氣過程中,排氣均勻,不產生氣流紊亂,保證基片上涂膜的精度。
聲明:
“帶光路的勻膠機” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)