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研磨頭清洗裝置

1017   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:08:39
本發明提供了一種研磨頭清洗裝置，包括：若干個清洗支路，每個所述清洗支路包括：噴霧單元、管道、自動閥門、傳感器、控制單元和清洗液供應單元，所述傳感器檢測到所述研磨頭的側面是否存有附著物，向所述控制單元輸出反饋信號，基于所述反饋信號，所述控制單元控制所述自動閥門開啟或閉合，以控制所述噴霧單元啟動與停止。所述噴霧單元啟動時，所述噴霧單元向所述研磨頭的側面噴射清洗液。清洗液對所述附著物產生物理化學作用，使得所述附著物從所述研磨頭的側面掉落。避免在研磨頭在上下料期間或其自身運動時，所述附著物掉落在研磨墊上，繼而在所述晶圓上造成劃痕或附著顆粒，最終影響晶圓制品的成品率。
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聲明：
“研磨頭清洗裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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