一種磁致伸縮薄膜復合材料及其制備方法,所述薄膜復合材料由防護層、磁致伸縮層、柔性襯底層依次復合而成,所述磁致伸縮層的化學式為:(Tb1?xDyx?δNδ)(Fe1?yMy)z,其中0.60≤x≤0.80,0≤y≤0.2,1.8≤z≤2.2,0≤δ≤0.3,M代表B、Al、Si、Ti、V、Cr、Mn、Co、Ni、Zn、Ga、Nb、Ta和W中1種或2種以上的組合,N代表除Tb和Dy以外的其它稀土元素中1種或2種以上的組合。本發明的磁致伸縮薄膜復合材料界面復合強度高、結構簡單、有效避免了磁致伸縮層的損傷,具有良好的壓磁系數(d33),交變頻率渦流損耗小、性能穩定、尺寸輕薄,非常適合制備磁?聲換能器和超聲波無損檢測傳感器。
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