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合金集流體的高通量篩選方法

1145   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:04:30
一種合金集流體的高通量篩選方法，包括如下步驟：提供一基片以及至少兩種可形成合金的單質元素靶材，該基片上包括多個樣品區；按照預設樣品靶材沉積比例，通過磁控濺射鍍膜技術，在每個樣品區同時制備包括同樣種類單質元素的交替沉積的薄膜前驅體，每個樣品區中相同層薄膜為同一種單質元素，但元素沉積量不同；同時熱處理多個樣品區的多個多層薄膜前驅體，以獲得多個合金相樣品；檢測樣品相關物理化學性質，得到每個樣品對應性質數據；將每個樣品區的樣品元素比例、制備條件數據與性質數據相關聯，以形成樣品數據庫；按照預定標準通過數據庫進行樣品數據篩選。上述方法可短時間內篩選出所需的合金集流體數據。
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