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影像處理系統及其方法

1014   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:04:30
本公開提供一種影像處理系統及其方法。該系統具有一影像擷取單元以及一影像處理單元。該影像擷取單元包括一相機、一光源以及一晶圓傳輸平臺。該相機擷取一晶圓標記的影像。該光源是一可變光源，能夠投射經過在該晶圓標記上的多個化學殘留物，其中該相機通過該可變光源擷取該晶圓標記的該區域的多個影像。該影像處理單元具有一影像處理器以及一物件配對子系統。該影像處理器經配置以執行該影像處理器的多個計算，以產生一輸出結果。該物件配對子系統具有一物件配對單元以及一存儲器單元。該物件配對單元具有一人工智能統計模型，用以辨識該晶圓標記的每一字元。該存儲器單元存儲該物件配對單元檢測在每一影像中的該晶圓標記的每一字元的一組幾率。
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聲明：
“影像處理系統及其方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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