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提升硅納米線氣敏性能的改性方法及其氣敏傳感器

1139   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:04:05
本發明公開提升硅納米線氣敏性能的改性方法及其氣敏傳感器，首先使用氫氟酸水溶液進行硅片表面改性，再進行金屬輔助化學刻蝕硅納米線，最后制作雙頂點電極形成氣敏傳感器。本發明通過氫氟酸水溶液處理使得形成頂端聚合結構的多孔性硅納米線氣敏傳感器，在雙頂點電極間形成了更多條導電通路，使更多的多孔性硅納米線參與氣敏反應，進而在室溫下檢測超低濃度的氮氧化物氣體，具有高靈敏度、良好選擇性的優點。該方法具有設備簡單、操作方便、可重復性好、成本低廉等優點，可以更好的實現工業化生產。
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“提升硅納米線氣敏性能的改性方法及其氣敏傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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