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乙硅烷的生產提純工藝

1049   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:04:04
本發明涉及一種乙硅烷的生產提純工藝，該乙硅烷的生產提純工藝包括檢測與所述反應釜連接的吸附管道的底面內壁上設置的壓力感應器的在預設時間周期內的數值變化，所述反應釜上還設置有氣體出口，將第一反應溶液和第二反應溶液進行化學反應生成的生成物利用氣體出口通過導氣管導入吸附管道內；根據所述數值變化，調節設置在第一進液口上的第一閥和設置在第二進液口上的第二閥，所述第一閥、所述第二閥和所述壓力感應器分別與控制單元連接，所述控制單元設置在所述反應釜的外壁上，以調節所述反應釜內第一反應溶液和第二反應溶液的添加量。本發明可以提高乙硅烷的產出率其能夠提高純度。
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聲明：
“乙硅烷的生產提純工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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