本實用新型提供一種氦氣回收提純裝置,該裝置包括:過濾器;化學吸附裝置;組分分析裝置;加氣罐;加熱器;催化系統;冷卻器;第一凈化系統;粗氦冷卻器;精餾塔塔;第二凈化系統;以及氦氣儲罐。采用本實用新型的氦氣回收提純裝置,能夠用于回收含有氦氣的工業廢氣,將氦氣的純度提高,也可以深入提純得到純氦、高純氦和超純氦產品。相對于現有技術,采用本實用新型的氦氣回收提純裝置具有成本較低、環保高效且適用范圍較廣的優點。
聲明:
“氦氣回收提純裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)