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面向ZnO壓電傳感器制造的介電泳裝配方法

834   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:01:30
本發明涉及納米操作領域，公開一種面向ZnO壓電傳感器制造的介電泳裝配方法。將酒精分析純溶液與ZnO混合，經超聲振蕩和脈沖后，實現ZnO有效分散，即完成預處理。再利用介電泳技術實現對ZnO在微電極上的有效可控裝配。本發明提出的方法，對ZnO所具有的物理、化學性質不會產生任何破壞，可操作性與可重復性強，為ZnO壓電傳感器的制造提供了新的可行技術途徑。
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“面向ZnO壓電傳感器制造的介電泳裝配方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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