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熱像及薄膜電池制造

1047   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:01:29
一種制造薄膜電化學裝置的方法可包括以下步驟：在基板上沉積膜堆疊結構，所述膜堆疊結構包括陰極集電體(CCC)、陰極、電解質、陽極及陽極集電體(ACC)；對堆疊結構進行激光裸片圖案化以形成已裸片圖案化的堆疊結構；對已裸片圖案化的堆疊結構進行激光圖案化以暴露出已裸片圖案化的堆疊結構中的每一個已裸片圖案化的堆疊結構的CCC層及ACC層中的至少一個的接觸區域，對已裸片圖案化的堆疊結構進行激光圖案化的步驟形成裝置堆疊結構；在元件堆疊結構上沉積毯覆式封裝層；對毯覆式封裝層進行激光圖案化以暴露出裝置堆疊結構中每一個裝置堆疊結構的ACC層及CCC層的接觸區域，毯覆式封裝層的激光圖案化步驟形成已封裝的裝置堆疊結構；及通過對裝置堆疊結構及已封裝的裝置堆疊結構中的一個或多個進行熱像分析以識別熱點。
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