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嵌有FP腔的MZ干涉式光學生化傳感芯片

739   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:57:09
本發明為了解決某些生物化學物質的探測問題，一種嵌有FP腔的MZ干涉式光學生化傳感芯片，主要包括MZ干涉單元，所述MZ干涉單元包括兩段光波導，在其中一段光波導上包含有光柵FP腔，所述MZ干涉單元與光柵FP腔具有不相同的自由光譜范圍，二者光學耦合連接。本發明的嵌有FP腔的MZ干涉式光學生化傳感芯片通過在頂部的單晶硅層形成兩個自由光譜范圍不同，且以光柵FP光學諧振腔（光柵FP腔）嵌入在MZ干涉結構（MZ干涉單元）的一個臂（其中一段波導）中相連接的方式形成干涉式光學諧振腔，用于檢測外界物質對光信號的影響。與其他的生化傳感芯片相比，具有制作工藝標準化、便于集成化、傳感性能優良等一系列特點。
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聲明：
“嵌有FP腔的MZ干涉式光學生化傳感芯片” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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