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基于倏逝波諧振的多孔硅-硅-多孔硅氣體傳感器

920   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:55:20
本發明公開一種基于倏逝波諧振的多孔硅?硅?多孔硅氣體傳感器，包括由多孔硅?硅?多孔硅組成的結構，以及在該結構兩端進行耦合的硅棱鏡，所述多孔硅?硅?多孔硅組成的結構通過脈沖電化學腐蝕方法制備，其中硅的折射率nSi＝3.5，光源以一定入射角度θ從硅棱鏡工作表面入射，在硅棱鏡與多孔硅層界面處發生全反射并產生倏逝波，若倏逝波的穿透深度大于多孔硅層厚度，則倏逝波在中間硅層內發生全反射形成諧振腔并產生諧振峰，當氣體進入多孔硅中，使其折射率改變，從而產生諧振峰漂移來測量氣體濃度。該傳感器具有結構簡單、高Q值和高靈敏特性，可對低濃度氣體進行精確、快速的測量，在低濃度氣體的檢測應用中具有較高的應用價值。
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“基于倏逝波諧振的多孔硅-硅-多孔硅氣體傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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