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VPD用金屬回收液及其配制方法

1040   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:55:19
本發明公開了一種VPD用金屬回收液及其配制方法。該金屬回收液中按質量百分比計的成分配比為：鹽酸0.4％、雙氧水3.5％-5％、余量的純水。其配制方法是：選擇原料鹽酸、雙氧水和純水，按照配比配制，回收液配制完成后要用ICP-MS進行金屬含量測試，標準是低于ICP-MS的檢測極限。本發明的金屬回收液對金屬的回收主要通過HCl和H2O2與硅片的化學反應來實現，HCL可以通過絡合反應將硅片表面的金屬直接吸收到溶液中，同時H2O2會將硅片表面產生輕微的氧化，氧化層中的金屬也被HCL收集到溶液中，相當于將硅片近表層的金屬同時收集，提高了測試的可信度。
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