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可應用于室溫高濕環境下的納米硅傳感器及其制備方法

766   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:55:19
本發明公開了一種可應用于室溫高濕環境下的納米硅傳感器及其制備方法，采用金屬輔助化學刻蝕法制備垂直排列的光滑硅納米線陣列并去除Ag顆粒，然后在硅納米線陣列表面涂覆AgNO3進行納米Ag顆粒修飾，之后利用吡咯單體在納米線表面包裹聚吡咯。本發明的納米銀和聚吡咯雙重修飾的硅納米線在室溫和80％的相對濕度下對200ppb氨氣有精確探測作用，對800ppb氨氣的響應約為1.3倍，對5000ppb氨氣響應約為2.7倍，對15000ppb氨氣響應約為5倍，在腎病呼出氣的待測范圍內(820?14700ppb，ESRD平均值為4880ppb)，可以實現對患病與否的測量，可應用于早期腎病的檢測診斷。
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