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LPCVD工藝用石英制品制造丘陵狀表面的方法

866   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:54:11
本發明屬于光伏行業用石英部件表面處理的技術領域，尤其涉及一種LPCVD工藝用石英制品制造丘陵狀表面的方法。本發明的制備方法包括準備石英制品、清洗石英制品表面、配制酸性化學溶液、化學蝕刻、清洗石英制品表面、干燥、粗糙度檢測等步驟。本發明制備的LPCVD工藝的石英制品其表面丘陵狀均勻，提高了硅化合物對石英制品的附著性，同時不會引起沉積在石英制品上的硅化合物的剝離，減少顆粒污染，并且延長石英制品使用壽命，滿足光伏行業需求。
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“LPCVD工藝用石英制品制造丘陵狀表面的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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