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新型前段開口片盒

745   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:45:50
本發明涉及半導體制造領域，尤其涉及一種新型前段開口片盒。本發明公開了一種新型前段開口片盒，通過采用全黑的不透光的開口片盒和設置壓力/紅外線傳感器及相對應的指示燈，避免制程中銅的光致電化學反應，方便工作人員進行檢查，并降低了投資成本，同時，在晶圓到達機臺端之后，相關信息直接傳送入相關機臺，可取代原有的晶圓位置的定位檢測系統，并節約了相關定位檢測的時間，降低了設備成本并縮短了工藝時間。
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聲明：
“新型前段開口片盒” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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