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雙柵ISFET模型的仿真方法

1153   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:45:50
本發明涉及一種雙柵ISFET模型的仿真方法。步驟如下：1：獲取待仿真雙柵離子敏感場效應晶體管(ISFET)器件的結構參數；2：根據電解質的物理化學特性，利用TCAD工具重定義電解質的材料參數；3：構建網格化的雙柵ISFET模型；4：設置摻雜、界面狀態、接觸類型等；5：獲取I?V特性和pH特性曲線，并對仿真結果進行分析；6：根據分析結果，選擇不同的材料和尺寸再次進行模擬；7：對比不同結構參數的仿真結果，獲取性能優良的雙柵ISFET器件。本發明提供的仿真方法可優化器件的結構和材料參數，進一步提高雙柵ISFET器件的pH靈敏度，從而節約器件的研發成本，為雙柵ISFET器件的研制提供一定的指導。
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聲明：
“雙柵ISFET模型的仿真方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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