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海水溫度和壓力集成的片式傳感器芯片的制造方法

1074   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:45:48
一種海水溫度和壓力集成的片式傳感器芯片的制造方法，包括以下步驟：a、化學清洗；b、激光打孔；c、絲網印刷圖形；d、烘干；e、印刷玻璃燒結料；f、一次燒結；g、二次燒結；h、激光調阻；i、三次燒結；j、將鉑內引線點焊到電子檢測裝置的金屬引線柱上，制造出能夠檢測海水溫度和壓力的傳感器；本發明傳感器芯片結構緊湊，小型便攜，靈敏精確，將溫度和壓力傳感器集成在一起，能同時測量兩個參數并降低生產成本，在海水中下潛速度快，測量效率高。
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